號外…號外...半導體無塵室微粒的剋星…來了!

2021-02-16 23:53

號外…號外...半導體無塵室微粒的剋星…來了!

你們還在為如何提升良率而發愁嗎?

好消息!無塵室的愛國者飛彈來救援了..(台灣之光)

 

所謂良率(yield)就是積體電路業者獲利的一個重要指標,所以在 IC 產 品設計、開發以及生產的過程中,正確且嚴謹的良率管理是非常重要的課題。

 

面對各競爭對手來勢洶洶的壓力,廠家都在積極的從降低懸浮微粒的方式提升良率,所以晶圓廠無塵室的particle就是提升良率成敗的關鍵因素之一。(台積電就是贏在一個奈米級灰塵)

 

一般在晶片的生產過程中,在生產機器上會有隨機掉落的灰塵、顆粒,或空氣中的塵埃引起,雖然無塵室上下已安裝頂上型集塵機及落地型集塵機,但這些顆粒塵埃是非常微小的肉眼不可見的,但是微粒落在電路的尺寸來說確已經非常巨大了。因為無法有效攔截中間高度及靠近機台(污染源)的機器產生的塵埃,所以在中間層的塵埃會到處亂竄,因此有的塵埃掉落在金屬線之間會有機率導致短路,有的落在金屬線形成過程中會導致開路,還有的會引起電阻、電容等電性引數的變化,因而會導致晶片功能失常而導致的良率降低。

史上…唯一能攔截低.中.高空域懸浮微粒的vacuum cleaner的機器(吸氣口高度可調高低)… 『利寶愛國者飛彈防禦系統』登場救援了…

可以把攔截懸浮微粒視同另一種商業作戰, 因應敵情(灰塵)威脅,廠方作戰策略應該調整為:防衛固守、主動殲敵;也就是將本機佈署在晶圓機台容易產生灰塵的地方或人員密集區域(可多台聯合搭配),進行主動出擊,攔截游離粒子,將中層高度的灰塵一網打盡,最終達到完全殲滅灰塵的成果,提升晶圓的良率。(不排除細菌也是導致短路的元兇)

 

 

首創專利設計”多層次交互殺菌”組合式濾清,結合目前最有效的殺菌集塵方式H E P A +光觸媒+奈米銀濾網+紫外線殺菌等方式,提供多重滅菌集塵功能,能將灰塵細菌前後包抄,一網打盡,淨化成新鮮空氣。強大的定向吸氣口(吸力3000PA風速達每秒40m..換氣量350立方/h) ,能直接將空間內飄浮的病毒及灰塵攔截摧毀

 

只需利用最小的環境空間,移動本機到適當位置即可立即上線使用,無須裝大型負壓過濾設備及中央系統,省下高額的投資及電費,也省下許多寶貴的時間與空間,亦是提升良率的最佳拍檔。完美結合,良率加倍。

 

本淨化機 濾網採分級過濾方式設計,分為(預過濾層)、(主過濾層)(消毒層)三部分。

(1)預過濾層1 :提供可重複清洗的不織布濾網 ,可攔截水氣,濾除粉塵碎屑及較大體積的微粒,延長後段濾網的壽命。

(2)預過濾層2:環保紙框過濾層:可濾淨空氣中較大體積的微粒,如塵埃.皮屑.毛髮等。

(3)蜂巢式活性碳濾網功效:能有效吸附空氣中的異味,如甲醛、甲醇、甲苯、乙醛、氨、揮發性有機化合物(VOCS)等有害化學物質對於除臭及去除有害氣體都有相當的效果。

主過濾層:

(4) HEPA (H13)醫用級濾網:被廣泛應用在開刀房.實驗室等空氣品質要求嚴格的醫院,能有效去除空氣中99.97%的PM2.5細懸浮微粒.化學煙塵.粉塵.細菌.病毒等最小至0.3微米以下污染物。

消毒層:

(5)UV紫外線: 利用輻射能的原理來達到消滅細菌病毒的作用。能殺死細菌、真菌、病菌、微生物、肝炎等病毒。本機獨特設計紫外線與HEPA相疊,利用紫外光照射原理,能穿透殘留在HEPA濾網上的細菌,將其徹底毀滅,避免再讓細菌復活及滋生出來。

(6)光觸媒奈米銀濾網 : 紫外線通過光觸媒表面,能產生氧化反應,並與奈米銀相互作用下,能破壞病菌孢子中的DNA,導致細菌死亡,達到滅菌目的。

本機通過 歐盟EMC CE認證 及美國FCC檢測認證

本機通過S G S 細菌滅菌檢測認證~去除率99.7%

細懸浮微粒 P M10~去除率99.7%

細懸浮微粒P M2.5 ~去除率99.8%

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